-
Spare Parts taċ-Ċeramika għal Tagħmir tas-Sonda tas-Semikondutturi
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Trasportatur ta' Tagħmir Semikonduttur tal-Pjanċa taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Partijiet ta' Rikambju taċ-Ċeramika għat-Tagħmir Semikonduttur
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċirku tas-Siġill taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għas-Siġillar tal-Kamra f'Temperatura Għolja
Iċ-ċirku tas-siġill taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat bħala alternattiva għaċ-ċrieki O tal-polimeru f'ambjenti estremi fejn l-elastomeri jiddegradaw. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku tas-siġill riġidu jintuża f'applikazzjonijiet ta' siġillar statiku — tipikament imqabbad ma' gasket tal-metall artab jew tal-grafita — biex jipprovdi konteniment affidabbli tal-vakwu jew tal-gass f'temperaturi sa 800°C u f'ambjenti aggressivi tal-plażma jew kimiċi. Il-materjal joffri żero ħruġ ta' gass, saħħa kompressiva għolja (saħħa flessibbli sottostanti 361 MPa), u inerzja kimika (reżistenti għall-aloġeni, l-aċidi, u l-alkali ħlief l-HF). Uċuħ tas-siġillar imdaħħla bi preċiżjoni (ċatt ≤5 μm, ħruxija tal-wiċċ Ra ≤0.2 μm) jiżguraw kuntatt li ma jnixxix mal-komponenti tal-metall jew taċ-ċeramika li jaqblu.
-
Ċirku tal-Fokus tal-Kamra tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Sistemi ta' Inċiżjoni tal-Plażma u CVD
Iċ-ċirku tal-fokus tal-kamra ta' St.Cera huwa komponent kritiku tal-kit tal-proċess użat f'tagħmir tas-semikondutturi tal-inċiżjoni tal-plażma, CVD, u PVD. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), iċ-ċirku jdawwar it-tarf tal-wejfer biex jikkonfina l-plażma u jottimizza d-distribuzzjoni angolari tal-joni, u b'hekk itejjeb l-uniformità tal-inċiżjoni tul il-wiċċ tal-wejfer. Il-materjal joffri reżistenza eċċezzjonali għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin jew il-kloru. ID/OD mitħun bi preċiżjoni u ċatt (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament preċiż tat-tarf tal-wejfer, u b'hekk inaqqsu d-difetti fit-tarf u l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
-
Ċirku taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Kmamar tal-Proċess CVD / PVD
Iċ-ċirku taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat speċifikament għall-użu f'kmamar tal-proċess CVD (Depożizzjoni Kimika mill-Fwar) u PVD (Depożizzjoni Fiżika mill-Fwar). Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku jservi bħala inforra tal-kamra, ċirku tal-fokus, jew komponent tal-kit tal-proċess biex jikkonfina l-plażma u jipproteġi l-ħitan tal-kamra mill-erożjoni. Il-materjal joffri reżistenza eċċellenti għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura ħajja twila ta' servizz f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin. Tolleranzi dimensjonali preċiżi (±0.05 mm fuq ID/OD) u ċattità (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament konsistenti tat-tarf tal-wejfer, itejbu l-uniformità tad-depożizzjoni u jnaqqsu l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
-
Bernoulli Ceramic End Effector — Immaniġġjar ta' Wejfers Mingħajr Kuntatt għal Wejfers Irqaq u Fraġli
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika Bernoulli ta' St.Cera juża rfigħ aerodinamiku biex jimmaniġġja l-wejfers mingħajr kuntatt fiżiku. Manifatturat minn alumina (Al₂O₃) jew karbur tas-silikon (SiC) ta' purità għolja ta' 99.8%, għandu żennuni maħduma bil-magni preċiżi li joħorġu gass bi pressjoni biex joħolqu film irqiq ta' arja bejn l-effettur tat-tarf u l-wejfer. Dan il-prinċipju mingħajr kuntatt jelimina l-kontaminazzjoni minn wara, it-tqattigħ tat-truf, u l-ħsara fil-wiċċ, u dan jagħmilha ideali għal wejfers irqaq (≤100 μm), fraġli, jew mgħawġa. Is-sottostrat taċ-ċeramika jipprovdi saħħa flessibbli għolja (361 MPa għal Al₂O₃; sa 550–600 MPa għal SiC), massa baxxa, u stabbiltà dimensjonali eċċellenti, li tiżgura pożizzjonament ripetibbli f'robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja.
-
Partijiet taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Applikazzjonijiet Semikondutturi u Industrijali
St.Cera timmanifattura partijiet taċ-ċeramika tal-alumina (Al₂O₃) maħduma bi preċiżjoni skont l-ispeċifikazzjonijiet tal-klijent. Bl-użu ta' 99.8% alumina ta' purità għolja, dawn il-komponenti jipprovdu saħħa flessibbli eċċellenti (361 MPa), ebusija għolja (16 GPa), u saħħa dielettrika eċċellenti (15×10⁶ V/m). Iddisinjat għal tagħmir semikonduttur, assemblaġġi reżistenti għall-użu, iżolaturi elettriċi, u attrezzaturi ta' temperatura għolja, il-materjal joffri assorbiment tal-ilma kważi żero (0%) u koeffiċjent ta' espansjoni termali ta' 7.2×10⁻⁶/℃, li jiżgura stabbiltà dimensjonali taħt kundizzjonijiet estremi.
-
Chuck tal-Vakwu taċ-Ċeramika Poruża għall-Immaniġġjar tal-Wefers Mgħawġa
Iċ-ċokk taċ-ċeramika poruża ta' St.Cera huwa magħmul minn alumina ta' purità għolja b'porożità miftuħa uniformi ta' 30–45% u daqsijiet tal-pori li jvarjaw minn 10 sa 100 μm. B'differenza miċ-ċokkijiet konvenzjonali bil-kanali, il-wiċċ poruż jipprovdi vakwu distribwit madwar in-naħa ta' wara kollha tal-wejfer, u jżomm b'mod effettiv wejfers mgħawġa, irqaq jew individwali mingħajr ma t-tarf jinqala' jew jinkiser. Il-vakwu ġentili (aġġustabbli permezz ta' restrittur) jipprevjeni wkoll il-marka fuq in-naħa ta' wara.
-
Chuck tal-Vakwu taċ-Ċeramika Poruża bbażata fuq l-Alumina għall-Immaniġġjar ta' Wejfer Irqiq
Iċ-ċokk poruż ibbażat fuq l-alumina ta' St.Cera huwa fabbrikat minn 99.6% Al₂O₃ ta' purità għolja b'porożità miftuħa kkontrollata ta' 30–45% u daqs uniformi tal-pori li jvarja minn 10 sa 50 μm. B'differenza miċ-ċokkijiet bil-kanali, il-wiċċ poruż jipprovdi vakwu distribwit madwar in-naħa ta' wara kollha tal-wejfer, u b'hekk jelimina l-immarkar tat-truf u jippermetti ż-żamma ġentili ta' wejfers ultra-rqaq (≤100 μm) jew mgħawġa. Il-materjal joffri saħħa tal-flessjoni ≥250 MPa u stabbiltà termali sa 400°C fl-arja.
-
Pjanċa tad-Distribuzzjoni tal-Gass tal-Alumina għal Ras tad-Doċċa CVD/PVD
Il-pjanċa tad-distribuzzjoni tal-gass (ras tad-doċċa) ta' St.Cera hija maħduma bi preċiżjoni minn ċeramika tal-alumina ta' 99.8% purità għolja. Għandha firxa ta' mikro-toqob (dijametri 0.3–1.5 mm) li jiżguraw fluss uniformi tal-gass tul il-wiċċ tal-wejfer waqt proċessi CVD, PVD, jew ALD. Is-saħħa dielettrika għolja tal-pjanċa (>15×10⁶ V/m) u r-reżistenza tal-plażma jagħmluha essenzjali għad-depożizzjoni ta' film irqiq tas-semikondutturi.
-
Pin ta' Appoġġ taċ-Ċeramika għal Fixtures tal-Proċess tas-Semikondutturi
Il-labar taċ-ċeramika ta' appoġġ ta' St.Cera (magħrufa wkoll bħala labar tal-irfigħ jew labar ta' appoġġ) jintużaw f'kmamar tal-proċess tas-semikondutturi biex jerfgħu l-wejfers jew is-sottostrati waqt l-immaniġġjar, it-tisħin, jew it-tkessiħ. Manifatturati minn 99.8% alumina jew nitrur tas-silikon, dawn il-labar joffru saħħa kompressiva għolja, stabbiltà termali, u reżistenza kimika. Id-disinn emisferiku jew ċatt tal-ponta jipprevjeni l-grif tal-wejfer.
