Ċirku taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Kmamar tal-Proċess CVD / PVD
Iċ-ċirku taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat speċifikament għall-użu f'kmamar tal-proċess CVD (Depożizzjoni Kimika mill-Fwar) u PVD (Depożizzjoni Fiżika mill-Fwar). Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku jservi bħala inforra tal-kamra, ċirku tal-fokus, jew komponent tal-kit tal-proċess biex jikkonfina l-plażma u jipproteġi l-ħitan tal-kamra mill-erożjoni. Il-materjal joffri reżistenza eċċellenti għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura ħajja twila ta' servizz f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin. Tolleranzi dimensjonali preċiżi (±0.05 mm fuq ID/OD) u ċattità (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament konsistenti tat-tarf tal-wejfer, itejbu l-uniformità tad-depożizzjoni u jnaqqsu l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
Speċifikazzjonijiet (ibbażati fuq 99.8% Al₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Assorbiment tal-Ilma | 0% |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Ksur | 3–4 MPa·m¹/² |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Modulu ta' Young | 380 GPa |
| Konduttività Termali | 32 W/m·k |
| Espansjoni Termali (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Saħħa Dielettrika | 15×10⁶ V/m |
| Reżistenza Speċifika | >10¹⁴ Ω·ċm |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 1600°Ċ |
Applikazzjonijiet:
- · Ċrieki tal-fokus tal-kamra tas-CVD u ċrieki tat-tarf
- · Ċrieki tal-protezzjoni tal-kamra tal-PVD u ċrieki tal-morsa
- · Inforri tal-kompartiment tal-inċiżjoni u ċrieki tal-għatu
- · Ċrieki ta' konfinament tal-plażma f'sistemi ta' inċiżjoni dielettrika
Proċess ta' Manifattura:
Ippressar iżostatiku → makkinar ekoloġiku → sinterizzazzjoni f'1600°C → tħin CNC ID/OD → lapping tal-wiċċ → tindif ultrasoniku → spezzjoni CMM ta' 100%. Finitura tal-wiċċ ultra-lixxa (Ra ≤0.4 μm) timminimizza l-adeżjoni tal-partiċelli.
Kontroll tal-Kwalità:
- · Verifika dimensjonali ta' 100% (ID, OD, ħxuna, ċattità)
- · Spezzjoni b'żebgħa penetranti għal mikro-xquq fil-wiċċ
- · Test tas-saħħa dielettrika skont l-ASTM D149
- · L-ebda tibdil fil-kulur jew porożità viżibbli taħt mikroskopju ta' 20×
Vantaġġi fuq Ċrieket tal-Metall jew tal-Kwarz:
- · Ħajja ta' ħajja 5–10× itwal minn ċrieki tal-aluminju fil-plażma tal-fluworin
- · L-ebda kontaminazzjoni tal-metall f'films irqaq
- · Reżistenza għall-plażma ogħla mill-kwarz (l-ebda ħofor tal-erożjoni)
- · Iżomm insulazzjoni elettrika >10¹⁴ Ω·cm anke wara użu fit-tul
Materjal Alternattiv — Nitrur tas-Silikon (Si₃N₄):
Għal applikazzjonijiet li jeħtieġu reżistenza għall-ksur saħansitra ogħla (6.2 MPa·m¹/²) u reżistenza aħjar għax-xokk termali (koeffiċjent ta' espansjoni 3.2×10⁻⁶/℃), huma disponibbli ċrieki Si₃N₄. Madankollu, l-alumina hija aktar kosteffettiva għall-biċċa l-kbira tal-applikazzjonijiet CVD/PVD. Jekk jogħġbok speċifika l-preferenza tal-materjal meta tordna.
Personalizzazzjoni:
- · Toqob li jgħaddu, profili mtarrġa, jew toqob kontra t-toqob għall-immuntar
- · Wiċċ miksi b'Y₂O₃ għal reżistenza mtejba tal-plażma (mhux obbligatorju)
- · Inċiżjoni bil-lejżer tan-numru tal-parti / kodiċi tal-lott
Nota:Id-dejta ta' hawn fuq issegwi strettament it-tabella tal-proprjetajiet ta' Al₂O₃ fornita. Għaċ-ċrieki Si₃N₄, irreferi għad-datasheet separata ta' Si₃N₄ ipprovduta.
