Pjanċa tad-Distribuzzjoni tal-Gass tal-Alumina għal Ras tad-Doċċa CVD/PVD
Il-pjanċa tad-distribuzzjoni tal-gass (ras tad-doċċa) ta' St.Cera hija maħduma bi preċiżjoni minn ċeramika tal-alumina ta' 99.8% purità għolja. Għandha firxa ta' mikro-toqob (dijametri 0.3–1.5 mm) li jiżguraw fluss uniformi tal-gass tul il-wiċċ tal-wejfer waqt proċessi CVD, PVD, jew ALD. Is-saħħa dielettrika għolja tal-pjanċa (>15×10⁶ V/m) u r-reżistenza tal-plażma jagħmluha essenzjali għad-depożizzjoni ta' film irqiq tas-semikondutturi.
Speċifikazzjonijiet:
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Al₂O₃ jew SiC |
| Dijametru | 100 – 1500mm (tond) jew rettangolari |
| Ħxuna | 5 – 20 mm |
| Dijametru tat-Toqba | 0.3 – 1.5 mm |
| Disinn tat-Toqba | Personalizzat (trijangolari, kwadru, radjali) |
| Ċatt | ≤10 μm fuq l-erja kollha |
| Ħruxija tal-wiċċ | Ra ≤0.6 μm (in-naħa tal-gass) |
| Proporzjon ta' Żona Miftuħa | 5–15% |
Applikazzjonijiet:
Pjanċi tad-doċċa PECVD
Injetturi tal-gass ALD
Pjanċi tad-distribuzzjoni tal-gass tal-kamra tal-inċiżjoni
Komponenti tar-reattur MOCVD
Manifattura:
Sottostrat tal-alumina mgħotti ċatt → Tħaffir CNC b'għodod miksija bid-djamanti (tolleranza tal-pożizzjoni tat-toqba ±0.02 mm) → tneħħija tal-grad → tindif ultrasoniku → ippakkjar tal-Klassi 100.
Kontroll tal-Kwalità:
Kull pjanċa hija spezzjonata 100% għad-daqs tat-toqba (sistema ta' viżjoni), il-flatness (interferometru tal-lejżer), u l-uniformità tal-fluss tal-gass (immappjar tal-pressjoni). L-ebda mikro-xquq taħt mikroskopju 20x.
Vantaġġi fuq Pjanċi tal-Metall:
L-ebda kontaminazzjoni metallika f'films irqaq
Ġenerazzjoni aktar baxxa ta' partiċelli (l-ebda qxur ta' korrużjoni)
Jiflaħ plażmi tat-tindif aggressivi (CF₄, NF₃)
Karatteristiċi Personalizzati:
Kanali tal-gass minn wara, toqob imtaqqbin kontra t-toqob, siġilli tat-truf, u gradi differenti ta' materjal (SiC għal konduttività termali ogħla, kisi Y₂O₃ għar-reżistenza tal-plażma).
Nipprovdu verifika CAD u simulazzjoni tal-fluss qabel il-manifattura.
