Ċirku tas-Siġill taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għas-Siġillar tal-Kamra f'Temperatura Għolja
Iċ-ċirku tas-siġill taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat bħala alternattiva għaċ-ċrieki O tal-polimeru f'ambjenti estremi fejn l-elastomeri jiddegradaw. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku tas-siġill riġidu jintuża f'applikazzjonijiet ta' siġillar statiku — tipikament imqabbad ma' gasket tal-metall artab jew tal-grafita — biex jipprovdi konteniment affidabbli tal-vakwu jew tal-gass f'temperaturi sa 800°C u f'ambjenti aggressivi tal-plażma jew kimiċi. Il-materjal joffri żero ħruġ ta' gass, saħħa kompressiva għolja (saħħa flessibbli sottostanti 361 MPa), u inerzja kimika (reżistenti għall-aloġeni, l-aċidi, u l-alkali ħlief l-HF). Uċuħ tas-siġillar imdaħħla bi preċiżjoni (ċatt ≤5 μm, ħruxija tal-wiċċ Ra ≤0.2 μm) jiżguraw kuntatt li ma jnixxix mal-komponenti tal-metall jew taċ-ċeramika li jaqblu.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al)₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Assorbiment tal-Ilma | 0% |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Qawwa Kompressiva (st.) | >2000 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Espansjoni Termali (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 800°C (arja), 1600°C (inert) |
| Irfinar tal-wiċċ (wiċċ tas-siġillar) | Ra ≤0.2 μm (imdawwar) |
| Ċatt (għal kull 25 mm) | ≤5 μm |
| Rata ta' Tnixxija tal-Elju | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (b'gasket xieraq) |
Applikazzjonijiet:
- · Siġilli statiċi tal-kamra tal-proċess tas-semikondutturi (CVD, PVD, inċiżjoni)
- · Siġilli tal-bibien tal-forn b'temperatura għolja
- · Flanġijiet tal-vakwu
- · Għeluq tal-bastimenti tar-reattur kimiku
Proċess ta' Manifattura:
Pressar iżostatiku → sinterizzazzjoni f'1600°C → tgħaqqid preċiż fuq żewġ naħat biex jinkisbu uċuħ tas-siġillar ultra-ċatti u lixxi → ċanfrinar tat-truf → tindif ultrasoniku. Kull ċirku huwa ttestjat 100% għal tnixxija fuq ditekter tat-tnixxija tal-elju b'gasket tal-metall standard.
Kontroll tal-Kwalità:
- · Kontroll dimensjonali tas-CMM (ID, OD, ħxuna, paralleliżmu)
- · Profilometru tal-wiċċ għal Ra u waviness
- · Kejl tal-flatness bl-użu ta' flat ottiku
- · Test tat-tnixxija tal-elju (metodu ta' back-pressurizzazzjoni)
Vantaġġi fuq iċ-ċrieki O tal-Polimeru:
- · Jiflaħ 800°C vs <300°C għal FFKM
- · Żero ħruġ ta' gass — l-ebda kontaminazzjoni tal-ambjent tal-vakwu
- · Reżistenti għall-kimiċi kollha tal-plażma (fluworin, klorin, ossiġnu)
- · L-ebda sett ta' kompressjoni jew deformazzjoni permanenti
- · Ħajja ta' servizz illimitata f'ambjenti nodfa
Limitazzjonijiet (Rimarki Kritiċi):
- · Mhux O-ring— huwa ċirku taċ-ċeramika riġidu li jeħtieġ gasket artab (ram, aluminju, jew grafit) biex jissiġilla.
- · Ma jakkomodax moviment dinamiku jew allinjament ħażin ta' flanġ kbir.
- · Spiża inizjali ogħla minn O-rings tal-polimeru, iżda ħajja itwal tnaqqas l-ispiża tas-sjieda.
- · Fraġli — immaniġġja b'attenzjoni; evita impatt minn punt jew stress mit-tgħawwiġ.
Nota:Id-dejta t'hawn fuq issegwi strettament it-tabella tal-proprjetajiet tal-Al₂O₃ fornita. Ma ġiet ipprovduta l-ebda dejta għal materjali elastomeriċi. Dan il-prodott huwa ċirku tas-siġill statiku, mhux O-ring elastomeriku. Jekk jogħġbok ikkonferma jekk dan jissodisfax ir-rekwiżiti tal-applikazzjoni tiegħek.
