Pin ta' Appoġġ taċ-Ċeramika għal Fixtures tal-Proċess tas-Semikondutturi
Il-labar taċ-ċeramika ta' appoġġ ta' St.Cera (magħrufa wkoll bħala labar tal-irfigħ jew labar ta' appoġġ) jintużaw f'kmamar tal-proċess tas-semikondutturi biex jerfgħu l-wejfers jew is-sottostrati waqt l-immaniġġjar, it-tisħin, jew it-tkessiħ. Manifatturati minn 99.8% alumina jew nitrur tas-silikon, dawn il-labar joffru saħħa kompressiva għolja, stabbiltà termali, u reżistenza kimika. Id-disinn emisferiku jew ċatt tal-ponta jipprevjeni l-grif tal-wejfer.
Speċifikazzjonijiet(Alumina 99.8%):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Al₂O₃ jew Si₃N₄ |
| Tul | 10 – 100 mm |
| Dijametru | 1 – 10 mm |
| Forma tal-ponta | Ċatt, emisferiku, bil-ponta |
| Saħħa Kompressiva (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim (Al₂O₃) | 1600°Ċ |
| Irfinar tal-wiċċ | Imdawwar (Ra ≤0.4 μm) |
| Tolleranza fuq id-Dijametru | ±0.01 mm |
Applikazzjonijiet:
Labri tal-irfigħ f'kmamar tas-CVD/PVD
Labriet ta' appoġġ għall-ħami fuq pjanċa sħuna
Strutturi ta' appoġġ għall-kards tas-sonda
Jappoġġja d-dgħajjes tal-forn tal-kwarz
Manifattura:
Tħin preċiż mingħajr ċentru ta' OD → tħin tad-djamanti tal-profil tal-ponta → tindif ultrasoniku → spezzjoni dimensjonali ta' 100%.
Kontroll tal-Kwalità:
CMM għat-tul/dijametru, komparatur ottiku għar-raġġ tal-ponta, ittestjar tat-tagħbija biex tiġi vverifikata s-saħħa kompressiva (kampjun każwali għal kull lott). L-ebda kontaminazzjoni ferromanjetika (verifikata b'kalamita).
Vantaġġi fuq Pinnijiet tal-Metall jew tal-Kwarz:
Ħajja 5 darbiet itwal mill-istainless steel
L-ebda kontaminazzjoni tal-metall fil-kamra tal-proċess
Kapaċità ta' temperatura ogħla mill-kwarz (1600°C vs 1100°C)
Wiċċ li ma jwaħħalx (adeżjoni mnaqqsa tal-partiċelli)
Personalizzazzjoni:
Profili b'ponta multipla, bażi bil-kamin, jew xaft koniku.
Aħna nipprovdu wkoll pinnijiet tas-SiC għal ambjenti estremi tal-plażma.
