Chuck tal-Vakwu taċ-Ċeramika Poruża għall-Immaniġġjar tal-Wefers Mgħawġa
Iċ-ċokk taċ-ċeramika poruża ta' St.Cera huwa magħmul minn alumina ta' purità għolja b'porożità miftuħa uniformi ta' 30–45% u daqsijiet tal-pori li jvarjaw minn 10 sa 100 μm. B'differenza miċ-ċokkijiet konvenzjonali bil-kanali, il-wiċċ poruż jipprovdi vakwu distribwit madwar in-naħa ta' wara kollha tal-wejfer, u jżomm b'mod effettiv wejfers mgħawġa, irqaq jew individwali mingħajr ma t-tarf jinqala' jew jinkiser. Il-vakwu ġentili (aġġustabbli permezz ta' restrittur) jipprevjeni wkoll il-marka fuq in-naħa ta' wara.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.6% Al)₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Porożità | 30–45% |
| Daqs Medju tal-Pori | 10–100 μm (jista' jintgħażel) |
| Saħħa Flessurali | ≥250 MPa |
| Ċatt (aktar minn 300mm) | ≤5 μm |
| Irfinar tal-wiċċ | Imdawwar (Ra 0.8 μm) |
| Livell Massimu tal-Vakwu | -80 kPa |
| Temperatura Operattiva | 400°C (arja), 600°C (inert) |
| Materjal | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, jew SiC |
Applikazzjonijiet:
Tħin minn wara ta' wejfer irqiq (≤50 μm)
Immuntar ta' wejfer mgħawweġ għat-tqattigħ f'dadi
Ġbir ta' die singularizzat mit-tejp
Immaniġġjar tal-pannelli tal-ħġieġ
Manifattura u Kwalità:
Trab taċ-ċeramika mħallat ma' sustanzi organiċi li jiffurmaw il-pori → ippressat → sinterizzat → imlaqqam sal-ħxuna finali. Kull ċokk jiġi ttestjat bil-fluss għall-uniformità tal-vakwu (devjazzjoni ≤5%) u spezzjonat għad-distribuzzjoni tad-daqs tal-pori (SEM). Il-pjanura mkejla b'interferometru tal-lejżer.
Vantaġġi fuq iċ-Chucks bil-Groove:
L-ebda marka tat-tarf tal-wejfer jew ċaqliq tad-die
Iżomm wejfers mgħawġa (sa 500 μm bow)
Jelimina l-imblukkar tat-toqob tal-vakwu
Appoġġ awto-livellanti għal sottostrati rqaq
Personalizzazzjoni:
Forom tondi jew rettangolari, daqs sa 600 mm. Nistgħu napplikaw ċrieki tas-siġillar tat-truf jew diviżorji tal-vakwu taż-żona. Verżjonijiet b'kisja tal-metall huma disponibbli għal rekwiżiti ta' riġidità għolja.
Itlob kampjun għad-daqs tal-wejfer tiegħek u t-test tal-għajjat.
