Chuck tal-Vakwu taċ-Ċeramika Poruża bbażata fuq l-Alumina għall-Immaniġġjar ta' Wejfer Irqiq
Iċ-ċokk poruż ibbażat fuq l-alumina ta' St.Cera huwa fabbrikat minn 99.6% Al₂O₃ ta' purità għolja b'porożità miftuħa kkontrollata ta' 30–45% u daqs uniformi tal-pori li jvarja minn 10 sa 50 μm. B'differenza miċ-ċokkijiet bil-kanali, il-wiċċ poruż jipprovdi vakwu distribwit madwar in-naħa ta' wara kollha tal-wejfer, u b'hekk jelimina l-immarkar tat-truf u jippermetti ż-żamma ġentili ta' wejfers ultra-rqaq (≤100 μm) jew mgħawġa. Il-materjal joffri saħħa tal-flessjoni ≥250 MPa u stabbiltà termali sa 400°C fl-arja.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.6% Al)₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.6% Alumina (Abjad) |
| Porożità | 30–45% (aġġustabbli) |
| Daqs Medju tal-Pori | 10–50 μm |
| Saħħa Flessurali | ≥250 MPa |
| Densità | 3.88 g/ċm³ |
| Ċatt (aktar minn 200mm) | ≤5 μm |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 400°C (arja) |
| Irfinar tal-wiċċ | Imdawwar (Ra ≤0.8 μm) |
Applikazzjonijiet:
- · Tħin minn wara ta' wejfer irqiq (≤50 μm)
- · Immuntar ta' wejfer mgħawweġ għat-tqattigħ f'dadi
- · Ġbir ta' die singolat
- · Immaniġġjar tas-sottostrat tal-ħġieġ
Manifattura:
Trab imħallat ma' sustanzi li jiffurmaw il-pori → ippressar iżostatiku → sinterizzazzjoni f'1600°C → lapping sal-ħxuna finali. Kull ċokk jiġi ttestjat għall-fluss għall-uniformità tal-vakwu (devjazzjoni tal-pressjoni <5%) u spezzjonat għad-distribuzzjoni tad-daqs tal-pori (SEM).
Vantaġġi fuq iċ-ċokkijiet konvenzjonali:
- · L-ebda marka fuq wara tal-wejfer jew ċaqliq tad-die
- · Iżomm wejfers b'ark sa 500 μm
- · Wiċċ li jitnaddaf waħdu (il-pori jirreżistu l-imblukkar)
- · Appoġġ uniformi jelimina l-istress lokali
Cpersonalizzazzjoni:
Forom tondi jew kwadri, dijametru 100–450 mm. Ċirku tas-siġillar tat-tarf disponibbli għal kontroll tal-vakwu f'żoni.
Itlob kampjun għad-daqs speċifiku tal-wejfer tiegħek.
