Bernoulli Ceramic End Effector — Immaniġġjar ta' Wejfers Mingħajr Kuntatt għal Wejfers Irqaq u Fraġli

L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika Bernoulli ta' St.Cera juża rfigħ aerodinamiku biex jimmaniġġja l-wejfers mingħajr kuntatt fiżiku. Manifatturat minn alumina (Al₂O₃) jew karbur tas-silikon (SiC) ta' purità għolja ta' 99.8%, għandu żennuni maħduma bil-magni preċiżi li joħorġu gass bi pressjoni biex joħolqu film irqiq ta' arja bejn l-effettur tat-tarf u l-wejfer. Dan il-prinċipju mingħajr kuntatt jelimina l-kontaminazzjoni minn wara, it-tqattigħ tat-truf, u l-ħsara fil-wiċċ, u dan jagħmilha ideali għal wejfers irqaq (≤100 μm), fraġli, jew mgħawġa. Is-sottostrat taċ-ċeramika jipprovdi saħħa flessibbli għolja (361 MPa għal Al₂O₃; sa 550–600 MPa għal SiC), massa baxxa, u stabbiltà dimensjonali eċċellenti, li tiżgura pożizzjonament ripetibbli f'robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja.

Nota dwar il-Materjali:L-alumina (Al₂O₃) hija l-aktar materjal użat ħafna għall-effetti tat-tarf taċ-ċeramika fl-immaniġġjar tal-wejfers tas-semikondutturi minħabba l-kombinazzjoni eċċellenti tagħha ta' ebusija, insulazzjoni elettrika, stabbiltà kimika, u kosteffettività. Il-karbur tas-silikon (SiC) joffri konduttività termali ogħla, ebusija ogħla, u reżistenza għall-użu saħansitra aħjar għall-aktar applikazzjonijiet impenjattivi. Filwaqt li ż-żirkonja stabbilizzata bl-ittrija (ZrO₂) toffri reżistenza għolja għall-ksur f'temperatura tal-kamra, hija inqas użata komunement f'din l-applikazzjoni minħabba d-densità ogħla tagħha u l-karatteristiċi differenti ta' espansjoni termali; tista' tiġi kkunsidrata għal xenarji speċifiċi fejn hija meħtieġa reżistenza eċċezzjonali għall-ksur. Jekk jogħġbok ikkonsulta lit-tim tekniku tagħna għal gwida dwar l-għażla tal-materjal.

Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al)₂O₃):

Prinċipju Operattiv:

Arja kkompressata jew nitroġenu (0.2–0.6 MPa) tiġi fornuta permezz ta' kanali interni u toħroġ permezz ta' żennuni ta' preċiżjoni. Il-fluss tal-arja aċċellerat joħloq żona ta' pressjoni baxxa 'l fuq mill-end effector (effett Bernoulli), u jiġġenera forza ta' rfigħ li ssostni l-wejfer f'distanza ta' 50–200 μm. L-ebda toqob jew pads tal-vakwu ma jikkuntattjaw in-naħa ta' wara tal-wejfer.

Applikazzjonijiet:

• · Immaniġġjar ta' wejfer irqiq (≤50 μm) wara t-tħin minn wara
• · Trasport ta' wejfer mgħawweġ (eż., wara CVD jew annealing)
• · Trasferiment ta' sottostrat ta' ċelluli solari u żaffir LED
• · Awtomazzjoni ta' kamra nadifa li ma teħtieġ l-ebda ġenerazzjoni ta' partiċelli
• · Immaniġġjar tal-pannelli tal-ħġieġ fil-manifattura tal-wirjiet

Proċess ta' Manifattura:

Sottostrat taċ-ċeramika sinterizzat minn trab ta' purità għolja → makkinar CNC b'5 assi ta' kanali tal-gass u toqob taż-żennuni (dijametru 0.3–1.0 mm, tolleranza ±0.01 mm) → lapping tal-wiċċ għal Ra ≤0.4 μm → tindif ultrasoniku → test tat-tnixxija tal-elju (kanali tal-gass). L-ebda kisi meħtieġ — il-wiċċ taċ-ċeramika mikxuf huwa kimikament inert u ma jikkontaminax.

Kontroll tal-Kwalità:

• · Spezzjoni dimensjonali ta' 100% (CMM) tal-pożizzjonijiet taż-żennuni, it-tul tad-driegħ, u l-flatness
• · Test tal-uniformità tal-fluss tal-arja: tnaqqis fil-pressjoni ≤5% fiż-żennuni kollha
• · Test tat-tnixxija: kanali tal-gass issiġillati b'0.6 MPa, l-ebda tnaqqis fil-pressjoni fuq 30 sekonda
• · Spezzjoni viżwali taħt mikroskopju ta' 20× għal mikro-xquq jew tħaffer

AVantaġġi fuq l-Effetturi tat-Tmiem tal-Kuntatt Konvenzjonali:

• · Żero kontaminazzjoni min-naħa ta' wara tal-wejfer — l-ebda kuntatt mekkaniku
• · L-ebda tqaxxir jew ksur tat-truf ta' wejfers irqaq
• · Jimmaniġġja wejfers mgħawġa (sa 1 ​​mm kurva) b'distakk stabbli
• · Jelimina l-ġeneratur tal-vakwu u l-manutenzjoni taċ-chuck poruż
• · Il-kostruzzjoni taċ-ċeramika tirreżisti l-użu u l-attakk kimiku

Personalizzazzjoni:

• · Disponibbli għal daqsijiet ta' wejfer ta' 200 mm, 300 mm, jew daqsijiet apposta
• · Mudelli taż-żennuni tal-gass: tipi dritti, angolati, jew vortiċi
• · Materjali: alumina (standard) jew karbur tas-silikon (għall-ogħla konduttività termali u reżistenza għall-użu)
• · Tul tad-driegħ, flanġ tal-immuntar, u post tal-port tal-gass skont it-tpinġija tal-OEM

Limitazzjonijiet:

L-implimentazzjoni tal-prinċipju ta' Bernoulli (disinn taż-żennuna, spazju għall-arja) hija lil hinn mill-ambitu tat-tabelli tal-proprjetajiet tal-materjal ipprovduti. Il-proprjetajiet mekkaniċi u termali ta' hawn fuq isegwu strettament id-datasheets fornuti għal 99.8% Al₂O₃. L-ebda degradazzjoni tal-prestazzjoni taċ-ċeramika taħt fluss ta' gass bi pressjoni mhi mistennija abbażi ta' dawn il-proprjetajiet tal-materjal. Għal wafers sensittivi għall-fluss tal-gass (eż., MEMS bi strutturi fraġli), il-pressjoni tal-gass u d-disinn taż-żennuna għandhom jiġu aġġustati kif xieraq.