-
Partijiet taċ-Ċeramika taċ-Ċirku taċ-Ċeramika ta' Preċiżjoni Għolja tal-Alumina
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċokkijiet taċ-Ċeramika għal Tagħmir Semikonduttur Personalizzat ST.CERA
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur (SiC) – Ebusija Għolja għall-Immaniġġjar tal-Wafers f'Temperatura Għolja
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika SiC ta' St.Cera huwa manifatturat minn karbur tas-silikon ta' purità għolja (kontenut ta' SiC 99.72%, Si ħieles 0.05%) bl-użu tal-materjal tal-lott S1111. Joffri proprjetajiet mekkaniċi eċċezzjonali: saħħa tal-flessjoni 449 MPa (imkejla), modulu elastiku 457 GPa (imkejjel), u ebusija Vickers 25–28 GPa (tipiku). Id-densità baxxa (3.10–3.15 g/cm³, tipika) tipprovdi ebusija speċifika għolja, ideali għal robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja. B'konduttività termali ta' 120–150 W/m·K (tipika) u koeffiċjent ta' espansjoni termali ta' 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipiku), dan l-effettur tat-tarf ixerred is-sħana b'mod effettiv u jżomm l-istabbiltà dimensjonali waqt l-immaniġġjar f'temperatura għolja (sa 1600–1700°C, mingħajr tagħbija). Il-kulur iswed/griż u l-assorbiment żero tal-ilma jiżguraw kompatibilità mal-kamra nadifa.
-
Chuck tal-Vakwu Bbażat fuq il-Karbur tas-Silikon (SiC) għal Ambjenti ta' Temperatura Għolja u Plażma
Iċ-ċokk taċ-ċeramika bbażat fuq is-SiC ta' St.Cera huwa manifatturat minn karbur tas-silikon ta' purità għolja (lott S1111, SiC 99.72%, Si ħieles 0.05%). Jipprovdi saħħa tal-flessjoni mkejla ta' 449 MPa, reżistenza għall-ksur ta' 3.12 MPa·m¹/², u modulu elastiku ta' 457 GPa. Il-konduttività termali tipika tal-materjal (120–150 W/m·K) u l-espansjoni termali baxxa (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) jippermettu żieda rapida fit-temperatura u tgħawwiġ minimu tal-wejfer waqt iċ-ċikliżmu termali. Iċ-ċokk jista' jiġi kkonfigurat bħala ċokk poruż tal-vakwu (fluss uniformi tal-gass) jew ċokk standard bil-kanali. B'temperatura massima ta' użu ta' 1600–1700°C (mingħajr tagħbija) u reżistenza eċċezzjonali għall-erożjoni tal-plażma, dan iċ-ċokk huwa ideali għall-ipproċessar tal-wejfers f'temperatura għolja (ittemprar, RTP) u kmamar tal-inċiżjoni aggressivi fejn iċ-ċokkijiet tal-alumina jiddegradaw.
-
Tagħmir Semikonduttur Spare Parts taċ-Ċeramika Trasportaturi taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċirku tat-Tħin taċ-Ċeramika tal-Alumina b'Back tal-Metall għal Applikazzjonijiet ta' Lapping b'Riġidità Għolja
Iċ-ċirku tat-tħin tal-alumina bbażat fuq il-metall ta' St.Cera jikkombina saff taċ-ċeramika tal-alumina ta' purità għolja (99.8% Al₂O₃) ma' rinforz tal-metall maħdum bi preċiżjoni (tipikament aluminju jew azzar inossidabbli). Dan id-disinn ibridu jipprovdi r-reżistenza eċċezzjonali għall-użu u l-inerzja kimika taċ-ċeramika fuq il-wiċċ tat-tħin, filwaqt li l-bażi tal-metall iżżid saħħa mekkanika, immuntar faċli, u reżistenza għall-ksur fraġli. Is-saff tal-alumina joffri saħħa flessibbli ta' 361 MPa, ebusija Vickers ta' 16 GPa, u stabbiltà termali sa 800°C. Il-bażi tal-metall hija personalizzata b'toqob tal-immuntar, pinnijiet tal-lokalizzazzjoni, jew proprjetajiet manjetiċi għall-integrazzjoni f'magni tal-lapping, grinders planetarji, u tagħmir CMP.
-
Spare Parts taċ-Ċeramika għal Tagħmir tal-Istazzjon tas-Sonda tas-Semikondutturi
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ipproċessar Personalizzat ta' Chuck tal-Wafer taċ-Ċeramika Al2O3
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
ST.CERA Tagħmir Semikonduttur Personalizzat Pjanċa taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Chuck tal-Vakwu tal-Alumina ta' 12-il pulzier għall-Ipproċessar tal-Wefer ta' 300mm
Iċ-chuck tal-vakwu ta' 12-il pulzier ta' St.Cera huwa magħmul b'inġinerija ta' preċiżjoni minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-immaniġġjar ta' wejfers ta' 300mm. Iċ-chuck għandu wiċċ b'kanal fin (wisa' tal-kanal 0.5–1.0 mm, pitch 2–3 mm) biex jiżgura distribuzzjoni uniformi tal-vakwu mad-dijametru kollu ta' 300mm. Il-flatness tinżamm fi ħdan 5 μm, li tippermetti fissazzjoni tal-wejfer mingħajr tgħawwiġ waqt it-tqattigħ f'dadi, it-tħin minn wara, u l-ispezzjoni. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiggarantixxu stabbiltà dimensjonali fit-tul anke taħt ċikli ripetuti tal-vakwu.
-
Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tal-Alumina b'Kanali tal-Vakwu Integrati
L-effettur tat-tarf tal-vakwu tal-alumina ta' St.Cera jintegra kanali tal-vakwu maħduma bil-magni ta' preċiżjoni u toqob tal-ġbid direttament fil-korp tal-alumina ta' purità għolja ta' 99.8%. Dan id-disinn jelimina l-kuxxinetti tal-vakwu esterni, u b'hekk jippermetti ġbir dirett tal-wejfer b'forza ta' żamma uniformi. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiżguraw stabbiltà dimensjonali fit-tul taħt ċikli ripetuti tal-vakwu. Il-flatness madwar iż-żona tal-kuxxinett tinżamm fi żmien 10 μm, u b'hekk tiġi evitata l-istress u l-ksur tal-wejfer. Il-portijiet tal-vakwu jinsabu fil-flanġ tal-immuntar ta' wara għal integrazzjoni faċli mad-dirgħajn tar-robot OEM.
-
Partijiet taċ-Ċeramika tal-Alumina Sikuri għall-ESD għall-Immaniġġjar tal-Wefers Sensittivi għall-Istatiċi
Il-partijiet taċ-ċeramika tal-alumina sikuri għall-ESD (skariku elettrostatiku) ta' St.Cera huma manifatturati minn 99.8% Al₂O₃ ta' purità għolja b'reżistività tal-wiċċ imfassla apposta ta' 10⁶–10⁹ Ω/sq, miksuba permezz ta' proċess ta' doping jew kisi proprjetarju. Dawn il-partijiet ixerrdu b'mod effettiv iċ-ċarġ statiku, u jipprevjenu ħsara elettrostatika lil wafers u apparati semikondutturi sensittivi. Il-materjal bażi jżomm is-saħħa flessibbli għolja tiegħu (361 MPa), l-ebusija (16 GPa), u s-saħħa dielettrika (15×10⁶ V/m). Il-partijiet taċ-ċeramika sikuri għall-ESD jinkludu effetturi tat-tarf, pinnijiet tal-irfigħ, binarji ta' gwida, u tagħmir apposta għall-awtomazzjoni FAB.
