Ċirku tal-Fokus tal-Kamra tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Sistemi ta' Inċiżjoni tal-Plażma u CVD

Iċ-ċirku tal-fokus tal-kamra ta' St.Cera huwa komponent kritiku tal-kit tal-proċess użat f'tagħmir tas-semikondutturi tal-inċiżjoni tal-plażma, CVD, u PVD. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), iċ-ċirku jdawwar it-tarf tal-wejfer biex jikkonfina l-plażma u jottimizza d-distribuzzjoni angolari tal-joni, u b'hekk itejjeb l-uniformità tal-inċiżjoni tul il-wiċċ tal-wejfer. Il-materjal joffri reżistenza eċċezzjonali għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin jew il-kloru. ID/OD mitħun bi preċiżjoni u ċatt (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament preċiż tat-tarf tal-wejfer, u b'hekk inaqqsu d-difetti fit-tarf u l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.

Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al)₂O₃):

Applikazzjonijiet:

• · Ċrieki tal-fokus tal-kamra tal-inċiżjoni dielettrika (inċiżjoni tal-ossidu, tan-nitrid)
• · Ċrieki tat-tarf tal-kompartiment tal-inċiżjoni tas-silikon
• · Ċrieki tal-kit tal-proċess tal-kamra tas-CVD
• · Tarka tal-kamra tal-PVD u ċrieki tal-morsa

Proċess ta' Manifattura:

Trab tal-alumina ta' purità għolja huwa ppressat b'mod iżostattiku → maħdum b'makna aħdar għal forma kważi netta → sinterizzat f'1600°C → tħin tad-djamanti CNC ta' ID, OD, u ħxuna → lapping biex jinkiseb ċatt ≤10 μm → tindif ultrasoniku → spezzjoni CMM ta' 100%. Il-finitura tal-wiċċ Ra ≤0.4 μm timminimizza l-adeżjoni tal-partiċelli.

Kontroll tal-Kwalità:

• · Spezzjoni dimensjonali ta' 100% (ID, OD, ħxuna, paralleliżmu)
• · Test tal-penetrazzjoni taż-żebgħa għal mikro-xquq (l-ebda xquq ma huma permessi)
• · Spezzjoni viżwali taħt mikroskopju ta' 20× — l-ebda ċipep, vojt, jew tibdil fil-kulur
• · Test tas-saħħa dielettrika skont l-ASTM D149 (teħid ta' kampjuni)

Vantaġġi fuq iċ-Ċrieki tal-Fokus tas-Silikon jew tal-Kwarz:

• · Ħajja ta' ħajja 5–10× itwal fil-plażma tal-fluworokarbonju
• · L-ebda partiċelli ta' erożjoni konsumabbli ma jikkontaminaw il-wejfers
• · Saħħa dielettrika ogħla tipprevjeni l-arkjar
• · Iżomm il-flatness u l-eżattezza dimensjonali fuq eluf ta' sigħat RF

Materjal Alternattiv — Żirkonju Stabbilizzat bl-Ittrija (ZrO₂):

Għal applikazzjonijiet li jeħtieġu reżistenza ogħla għall-ksur (eż., kmamar b'ċikli termali frekwenti jew xokk mekkaniku), huma disponibbli ċrieki tal-fokus ZrO₂ (densità 6.03 g/cm³, saħħa flessibbli 1000 MPa, reżistenza għall-ksur 5–8 MPa·m¹/²). Madankollu, l-alumina toffri kosteffettività aħjar u hija l-istandard tal-industrija għall-biċċa l-kbira tal-applikazzjonijiet taċ-ċrieki tal-fokus.

Personalizzazzjoni:

• · Profili tat-turġien, counterbores, jew toqob tal-immuntar skont it-tpinġija tal-klijent
• · Kisi ta' Y₂O₃ għal reżistenza mtejba għall-erożjoni tal-plażma (ħxuna 20–100 μm)
• · Immarkar bil-lejżer tan-numru tal-parti, il-kodiċi tad-data, jew il-marki tal-allinjament

Nota:Id-dejta kollha ssegwi b'mod strett it-tabella tal-proprjetajiet ta' Al₂O₃ li ġiet ipprovduta. Għall-ispeċifikazzjonijiet ta' ZrO₂, irreferi għad-datasheet taż-żirkonja li ġiet ipprovduta. Id-disinji taċ-ċrieki tal-fokus jistgħu jeħtieġu awtorizzazzjoni tal-brevett — il-klijenti huma responsabbli għall-verifika tad-drittijiet tal-proprjetà intellettwali.