-
Ipproċessar Personalizzat ta' Chuck tal-Wafer taċ-Ċeramika Al2O3
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
ST.CERA Tagħmir Semikonduttur Personalizzat Pjanċa taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Chuck tal-Vakwu tal-Alumina ta' 12-il pulzier għall-Ipproċessar tal-Wefer ta' 300mm
Iċ-chuck tal-vakwu ta' 12-il pulzier ta' St.Cera huwa magħmul b'inġinerija ta' preċiżjoni minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-immaniġġjar ta' wejfers ta' 300mm. Iċ-chuck għandu wiċċ b'kanal fin (wisa' tal-kanal 0.5–1.0 mm, pitch 2–3 mm) biex jiżgura distribuzzjoni uniformi tal-vakwu mad-dijametru kollu ta' 300mm. Il-flatness tinżamm fi ħdan 5 μm, li tippermetti fissazzjoni tal-wejfer mingħajr tgħawwiġ waqt it-tqattigħ f'dadi, it-tħin minn wara, u l-ispezzjoni. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiggarantixxu stabbiltà dimensjonali fit-tul anke taħt ċikli ripetuti tal-vakwu.
-
Spare Parts taċ-Ċeramika għal Tagħmir tas-Sonda tas-Semikondutturi
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Trasportatur ta' Tagħmir Semikonduttur tal-Pjanċa taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Partijiet ta' Rikambju taċ-Ċeramika għat-Tagħmir Semikonduttur
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċirku tas-Siġill taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għas-Siġillar tal-Kamra f'Temperatura Għolja
Iċ-ċirku tas-siġill taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat bħala alternattiva għaċ-ċrieki O tal-polimeru f'ambjenti estremi fejn l-elastomeri jiddegradaw. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku tas-siġill riġidu jintuża f'applikazzjonijiet ta' siġillar statiku — tipikament imqabbad ma' gasket tal-metall artab jew tal-grafita — biex jipprovdi konteniment affidabbli tal-vakwu jew tal-gass f'temperaturi sa 800°C u f'ambjenti aggressivi tal-plażma jew kimiċi. Il-materjal joffri żero ħruġ ta' gass, saħħa kompressiva għolja (saħħa flessibbli sottostanti 361 MPa), u inerzja kimika (reżistenti għall-aloġeni, l-aċidi, u l-alkali ħlief l-HF). Uċuħ tas-siġillar imdaħħla bi preċiżjoni (ċatt ≤5 μm, ħruxija tal-wiċċ Ra ≤0.2 μm) jiżguraw kuntatt li ma jnixxix mal-komponenti tal-metall jew taċ-ċeramika li jaqblu.
-
Ċirku tal-Fokus tal-Kamra tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Sistemi ta' Inċiżjoni tal-Plażma u CVD
Iċ-ċirku tal-fokus tal-kamra ta' St.Cera huwa komponent kritiku tal-kit tal-proċess użat f'tagħmir tas-semikondutturi tal-inċiżjoni tal-plażma, CVD, u PVD. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), iċ-ċirku jdawwar it-tarf tal-wejfer biex jikkonfina l-plażma u jottimizza d-distribuzzjoni angolari tal-joni, u b'hekk itejjeb l-uniformità tal-inċiżjoni tul il-wiċċ tal-wejfer. Il-materjal joffri reżistenza eċċezzjonali għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin jew il-kloru. ID/OD mitħun bi preċiżjoni u ċatt (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament preċiż tat-tarf tal-wejfer, u b'hekk inaqqsu d-difetti fit-tarf u l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
-
Ċirku taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Kmamar tal-Proċess CVD / PVD
Iċ-ċirku taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat speċifikament għall-użu f'kmamar tal-proċess CVD (Depożizzjoni Kimika mill-Fwar) u PVD (Depożizzjoni Fiżika mill-Fwar). Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku jservi bħala inforra tal-kamra, ċirku tal-fokus, jew komponent tal-kit tal-proċess biex jikkonfina l-plażma u jipproteġi l-ħitan tal-kamra mill-erożjoni. Il-materjal joffri reżistenza eċċellenti għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura ħajja twila ta' servizz f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin. Tolleranzi dimensjonali preċiżi (±0.05 mm fuq ID/OD) u ċattità (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament konsistenti tat-tarf tal-wejfer, itejbu l-uniformità tad-depożizzjoni u jnaqqsu l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
-
Chuck tal-Vakwu taċ-Ċeramika Poruża għall-Immaniġġjar tal-Wefers Mgħawġa
Iċ-ċokk taċ-ċeramika poruża ta' St.Cera huwa magħmul minn alumina ta' purità għolja b'porożità miftuħa uniformi ta' 30–45% u daqsijiet tal-pori li jvarjaw minn 10 sa 100 μm. B'differenza miċ-ċokkijiet konvenzjonali bil-kanali, il-wiċċ poruż jipprovdi vakwu distribwit madwar in-naħa ta' wara kollha tal-wejfer, u jżomm b'mod effettiv wejfers mgħawġa, irqaq jew individwali mingħajr ma t-tarf jinqala' jew jinkiser. Il-vakwu ġentili (aġġustabbli permezz ta' restrittur) jipprevjeni wkoll il-marka fuq in-naħa ta' wara.
-
Chuck tal-Vakwu taċ-Ċeramika Poruża bbażata fuq l-Alumina għall-Immaniġġjar ta' Wejfer Irqiq
Iċ-ċokk poruż ibbażat fuq l-alumina ta' St.Cera huwa fabbrikat minn 99.6% Al₂O₃ ta' purità għolja b'porożità miftuħa kkontrollata ta' 30–45% u daqs uniformi tal-pori li jvarja minn 10 sa 50 μm. B'differenza miċ-ċokkijiet bil-kanali, il-wiċċ poruż jipprovdi vakwu distribwit madwar in-naħa ta' wara kollha tal-wejfer, u b'hekk jelimina l-immarkar tat-truf u jippermetti ż-żamma ġentili ta' wejfers ultra-rqaq (≤100 μm) jew mgħawġa. Il-materjal joffri saħħa tal-flessjoni ≥250 MPa u stabbiltà termali sa 400°C fl-arja.
-
Pjanċa tad-Distribuzzjoni tal-Gass tal-Alumina għal Ras tad-Doċċa CVD/PVD
Il-pjanċa tad-distribuzzjoni tal-gass (ras tad-doċċa) ta' St.Cera hija maħduma bi preċiżjoni minn ċeramika tal-alumina ta' 99.8% purità għolja. Għandha firxa ta' mikro-toqob (dijametri 0.3–1.5 mm) li jiżguraw fluss uniformi tal-gass tul il-wiċċ tal-wejfer waqt proċessi CVD, PVD, jew ALD. Is-saħħa dielettrika għolja tal-pjanċa (>15×10⁶ V/m) u r-reżistenza tal-plażma jagħmluha essenzjali għad-depożizzjoni ta' film irqiq tas-semikondutturi.
