Chuck tal-Vakwu tal-Alumina ta' 12-il pulzier għall-Ipproċessar tal-Wefer ta' 300mm
Iċ-chuck tal-vakwu ta' 12-il pulzier ta' St.Cera huwa magħmul b'inġinerija ta' preċiżjoni minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-immaniġġjar ta' wejfers ta' 300mm. Iċ-chuck għandu wiċċ b'kanal fin (wisa' tal-kanal 0.5–1.0 mm, pitch 2–3 mm) biex jiżgura distribuzzjoni uniformi tal-vakwu mad-dijametru kollu ta' 300mm. Il-flatness tinżamm fi ħdan 5 μm, li tippermetti fissazzjoni tal-wejfer mingħajr tgħawwiġ waqt it-tqattigħ f'dadi, it-tħin minn wara, u l-ispezzjoni. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiggarantixxu stabbiltà dimensjonali fit-tul anke taħt ċikli ripetuti tal-vakwu.
Speċifikazzjonijiet (ibbażat fuq 99.8% Al₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Dijametru | 300 mm (12-il pulzier) |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Ċatt (aktar minn 300mm) | ≤5 μm |
| Wisa' tal-kanal | 0.5–1.0 mm |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 800°Ċ |
| Saħħa Dielettrika | 15×10⁶ V/m |
Applikazzjonijiet:
Qtugħ u inċiżjoni ta' wejfer ta' 300mm
Tħin tan-naħa ta' wara tal-wejfer (appoġġ irqiq tal-wejfer)
Spezzjoni u sonda ottika
Ċokkijiet temporanji għat-twaħħil/tneħħija tat-twaħħil
Manifattura:
CNC mitħun u mgħotti sal-wiċċ ċatt finali, imħawwar b'roti tad-djamanti, imnaddaf ultrasonikament, u ppakkjat f'kamra nadifa tal-Klassi 100. Kull ċokk jiġi spezzjonat 100% għall-wiċċ ċatt (interferometru tal-lejżer) u l-fond tal-kanal (profilometru).
Vantaġġi:
Ġenerazzjoni baxxa ta' partiċelli (≤0.05 partiċelli/cm²)
Kimikament inerti għal solventi u aċidi
Wiċċ sikur għall-ESD (reżistività >10¹³ Ω·cm)
Mudelli ta' toqob tal-vakwu apposta u portijiet ta' wara disponibbli.
