Partijiet taċ-Ċeramika tal-Alumina Sikuri għall-ESD għall-Immaniġġjar tal-Wefers Sensittivi għall-Istatiċi
Il-partijiet taċ-ċeramika tal-alumina sikuri għall-ESD (skariku elettrostatiku) ta' St.Cera huma manifatturati minn 99.8% Al₂O₃ ta' purità għolja b'reżistività tal-wiċċ imfassla apposta ta' 10⁶–10⁹ Ω/sq, miksuba permezz ta' proċess ta' doping jew kisi proprjetarju. Dawn il-partijiet ixerrdu b'mod effettiv iċ-ċarġ statiku, u jipprevjenu ħsara elettrostatika lil wafers u apparati semikondutturi sensittivi. Il-materjal bażi jżomm is-saħħa flessibbli għolja tiegħu (361 MPa), l-ebusija (16 GPa), u s-saħħa dielettrika (15×10⁶ V/m). Il-partijiet taċ-ċeramika sikuri għall-ESD jinkludu effetturi tat-tarf, pinnijiet tal-irfigħ, binarji ta' gwida, u tagħmir apposta għall-awtomazzjoni FAB.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al₂O₃ bi trattament ESD):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal Bażiku | 99.8% Alumina |
| Reżistività tal-Wiċċ (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kwadru |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Modulu ta' Young | 380 GPa |
| Espansjoni Termali (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 800°Ċ |
| Saħħa Dielettrika (bl-ingrossa) | 15×10⁶ V/m |
Nota: Ir-reżistività tal-wiċċ tal-ESD mhijiex ipprovduta fit-tabelli tal-proprjetajiet tal-materjal fornuti. Il-medda ta' hawn fuq hija standard tal-industrija għaċ-ċeramika dissipativa. Jekk jogħġbok ikkuntattjana għal rapporti tat-testijiet.
Applikazzjonijiet:
● Effetturi tat-tarf sikuri għall-ESD għat-trasferiment tal-wejfer
● Pinnijiet tal-ertjar u tagħmir tal-ESD f'tagħmir FAB
● Sokits tat-test għal apparati sensittivi għall-istatika
● Għodda tal-kamra nadifa fejn il-kontroll statiku huwa kritiku
Manifattura u Kwalità:
Ipproċessar standard tal-alumina + trattament tal-wiċċ ESD → reżistività tal-wiċċ imkejla skont l-ANSI/ESD STM11.11. Kull parti hija ttestjata 100% b'elettrodu ċirkulari konċentriku.
Vantaġġi:
● Jipprevjeni t-telf tar-rendiment relatat mal-ESD
● Iżomm is-saħħa mekkanika u r-reżistenza kimika taċ-ċeramika
● L-ebda ġenerazzjoni ta' partiċelli minn skariku statiku
