Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tal-Alumina b'Kanali tal-Vakwu Integrati
L-effettur tat-tarf tal-vakwu tal-alumina ta' St.Cera jintegra kanali tal-vakwu maħduma bil-magni ta' preċiżjoni u toqob tal-ġbid direttament fil-korp tal-alumina ta' purità għolja ta' 99.8%. Dan id-disinn jelimina l-kuxxinetti tal-vakwu esterni, u b'hekk jippermetti ġbir dirett tal-wejfer b'forza ta' żamma uniformi. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiżguraw stabbiltà dimensjonali fit-tul taħt ċikli ripetuti tal-vakwu. Il-flatness madwar iż-żona tal-kuxxinett tinżamm fi żmien 10 μm, u b'hekk tiġi evitata l-istress u l-ksur tal-wejfer. Il-portijiet tal-vakwu jinsabu fil-flanġ tal-immuntar ta' wara għal integrazzjoni faċli mad-dirgħajn tar-robot OEM.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Modulu ta' Young | 380 GPa |
| Espansjoni Termali | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Ċatt tal-kuxxinett | ≤10 μm |
| Wisa' tal-Kanal tal-Vakwu | 0.5–2.0 mm |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 800°Ċ |
Applikazzjonijiet:
● Ġbir bil-vakwu ta' wejfers irqaq jew mgħawġa
● Immaniġġjar dirett tal-wejfer mingħajr ma jinqabad mat-tarf
● Trasferiment ta' ċelloli solari u sottostrat LED
Manifattura:
Blank tal-alumina sinterizzata → tħaffir CNC b'5 assi ta' kanali u toqob tal-vakwu → lapping tal-wiċċ → tindif ultrasoniku → test tat-tnixxija tal-elju. Kull effettur huwa ttestjat 100% għall-fluss għall-uniformità tal-vakwu.
Vantaġġi:
● L-ebda pads tal-vakwu esterni (inaqqas is-sorsi tal-partiċelli)
● Pressjoni uniformi taż-żamma tipprevjeni l-immarkar tal-wejfer
● Kimikament inerti u kompatibbli mal-kamra nadifa
