Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur (SiC) – Ebusija Għolja għall-Immaniġġjar tal-Wafers f'Temperatura Għolja
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika SiC ta' St.Cera huwa manifatturat minn karbur tas-silikon ta' purità għolja (kontenut ta' SiC 99.72%, Si ħieles 0.05%) bl-użu tal-materjal tal-lott S1111. Joffri proprjetajiet mekkaniċi eċċezzjonali: saħħa tal-flessjoni 449 MPa (imkejla), modulu elastiku 457 GPa (imkejjel), u ebusija Vickers 25–28 GPa (tipiku). Id-densità baxxa (3.10–3.15 g/cm³, tipika) tipprovdi ebusija speċifika għolja, ideali għal robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja. B'konduttività termali ta' 120–150 W/m·K (tipika) u koeffiċjent ta' espansjoni termali ta' 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipiku), dan l-effettur tat-tarf ixerred is-sħana b'mod effettiv u jżomm l-istabbiltà dimensjonali waqt l-immaniġġjar f'temperatura għolja (sa 1600–1700°C, mingħajr tagħbija). Il-kulur iswed/griż u l-assorbiment żero tal-ilma jiżguraw kompatibilità mal-kamra nadifa.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq ir-rapport tat-test SiC S1111 fornut u valuri tipiċi)):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Ħieles) |
| Kulur | Iswed/Griż |
| Densità | 3.10–3.15 g/ċm³ |
| Assorbiment tal-Ilma | 0% |
| Saħħa Flessurali | 449 MPa (medja) |
| Reżistenza għall-Frattura | 3.12 MPa·m¹/² (medja) |
| Modulu Elastiku | 457 GPa |
| Ebusija tal-Vickers | 25–28 GPa |
| Konduttività Termali (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura Massima tal-Użu (mingħajr tagħbija) | 1600–1700°C |
Applikazzjonijiet:
● Immaniġġjar ta' wejfers f'temperatura għolja (wara l-anneal, RTP, epitaxy)
● Kmamar tal-inċiżjoni tal-plażma li jeħtieġu reżistenza għolja għall-erożjoni
● Robots ta' trasferiment b'veloċità għolja (ħfief, ebusija għolja)
Manifattura:
Sinterizzazzjoni tat-trab tas-SiC → tħin CNC ta' preċiżjoni tal-profil tad-driegħ u l-karatteristiċi tal-immuntar → tħaffir tal-wiċċ → tindif ultrasoniku. Spezzjoni dimensjonali ta' 100% u test tat-tnixxija tal-elju għal applikazzjonijiet tal-vakwu.
Kontroll tal-Kwalità:
● Spezzjoni tas-CMM tat-tul, il-wisa', u l-flatness
● Test tas-saħħa tal-flessjoni għal kull lott (skont l-istandard tar-rapport tat-test)
● Spezzjoni viżwali taħt mikroskopju għal difetti fil-wiċċ
Vantaġġi fuq l-Alumina jew il-Metall:
● Modulu elastiku 2× ogħla (457 vs ~380 GPa għall-alumina) – inqas deflessjoni
● Konduttività termali 3× ogħla – dissipazzjoni tas-sħana aktar mgħaġġla
● Jiflaħ >1600°C meta mqabbel mat-800°C tal-alumina fl-arja
● Densità aktar baxxa mill-azzar – tnaqqis fil-piż ta' 40%
Personalizzazzjoni:
Tulijiet 150–450 mm, forom tal-ponot (qabda tat-tarf, Bernoulli, ċatta), mudelli tal-flanġ tal-immuntar skont it-tpinġija tal-OEM.
*Id-dejta mekkanika kollha ta' hawn fuq ġejja mir-rapport tat-test fornut (lott S1111). Il-valuri termali u tal-ebusija huma tipiċi għal dan il-grad ta' SiC; jekk jogħġbok ikkuntattjana għal ċertifikazzjoni speċifika għal-lott.*
