Chuck tal-Vakwu Bbażat fuq il-Karbur tas-Silikon (SiC) għal Ambjenti ta' Temperatura Għolja u Plażma
Iċ-ċokk taċ-ċeramika bbażat fuq is-SiC ta' St.Cera huwa manifatturat minn karbur tas-silikon ta' purità għolja (lott S1111, SiC 99.72%, Si ħieles 0.05%). Jipprovdi saħħa tal-flessjoni mkejla ta' 449 MPa, reżistenza għall-ksur ta' 3.12 MPa·m¹/², u modulu elastiku ta' 457 GPa. Il-konduttività termali tipika tal-materjal (120–150 W/m·K) u l-espansjoni termali baxxa (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) jippermettu żieda rapida fit-temperatura u tgħawwiġ minimu tal-wejfer waqt iċ-ċikliżmu termali. Iċ-ċokk jista' jiġi kkonfigurat bħala ċokk poruż tal-vakwu (fluss uniformi tal-gass) jew ċokk standard bil-kanali. B'temperatura massima ta' użu ta' 1600–1700°C (mingħajr tagħbija) u reżistenza eċċezzjonali għall-erożjoni tal-plażma, dan iċ-ċokk huwa ideali għall-ipproċessar tal-wejfers f'temperatura għolja (ittemprar, RTP) u kmamar tal-inċiżjoni aggressivi fejn iċ-ċokkijiet tal-alumina jiddegradaw.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq ir-rapport tat-test SiC S1111 fornut u valuri tipiċi)):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Ħieles) |
| Densità | 3.10–3.15 g/ċm³ |
| Assorbiment tal-Ilma | 0% |
| Saħħa Flessurali | 449 MPa |
| Reżistenza għall-Frattura | 3.12 MPa·m¹/² |
| Modulu Elastiku | 457 GPa |
| Ebusija tal-Vickers | 25–28 GPa |
| Konduttività Termali | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura Massima tal-Użu (mingħajr tagħbija) | 1600–1700°C |
| Ċatt (aktar minn 300mm) | ≤5 μm |
| Irfinar tal-wiċċ | Ra ≤0.4 μm (imdawwar) |
Applikazzjonijiet:
● Tkessiħ f'temperatura għolja (ittemprar, RTP, tkabbir epitassjali)
● Chuck tal-inċiżjoni tal-plażma b'reżistenza għolja għall-fluworidu
● Immaniġġjar ta' wejfer irqiq b'tisħin/tkessiħ uniformi
● Chuck poruż għal appoġġ ta' wejfer mingħajr kuntatt
Manifattura:
Sinterizzazzjoni tas-SiC → tħin preċiż tal-pjanura u l-profil tal-wiċċ → formazzjoni ta' struttura poruża mhux obbligatorja (għal chuck tal-vakwu) → lapping → tindif ultrasoniku. Kull chuck jiġi spezzjonat 100% għall-pjanura (interferometru tal-lejżer) u l-uniformità tal-vakwu (test tal-fluss).
Kontroll tal-Kwalità:
● Kontroll dimensjonali tas-CMM (dijametru, ħxuna, pożizzjonijiet tat-toqob)
● Kejl tal-flatness skont l-ASTM
● Test tat-tnixxija tal-elju (għal mandrini tal-vakwu)
● Verifika tas-saħħa flessibbli għal kull lott (referenza għar-rapport tat-test)
Vantaġġi fuq iċ-Ċokkijiet tal-Alumina:
● Konduttività termali ogħla (120–150 vs 32 W/m·K għall-alumina) – trasferiment tas-sħana 4× aktar mgħaġġel
● CTE aktar baxx (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – inaqqas l-istress termali tal-wejfer
● Reżistenza superjuri għall-plażma – ħajja 10× itwal fl-inċiżjoni bil-fluworin
● Temperatura massima ta' użu ogħla (1600°C vs 800°C għall-alumina)
Personalizzazzjoni:
● Wiċċ poruż jew imnaqqax
● Dijametru 100–450 mm, tond jew kwadru
● Ċirku tas-siġillar tat-tarf jew diviżorji tal-vakwu taż-żona
● Għażla ta' rinforz tal-metall għal immuntar ta' riġidità għolja
Id-dejta mekkanika kollha ta' hawn fuq ġejja mir-rapport tat-test fornut (lott S1111). Il-valuri termali u tal-ebusija huma tipiċi għal dan il-grad ta' SiC. Mandrini porużi tas-SiC jeħtieġu pproċessar addizzjonali; jekk jogħġbok staqsi għad-disponibbiltà speċifika ta' porożità u daqs tal-pori.
