Chuck tal-Vakwu Standard Ibbażat fuq l-Alumina – Riġidità Għolja għal Makkinar ta' Preċiżjoni
Dan iċ-ċokk tal-vakwu bbażat fuq l-alumina huwa manifatturat minn 99.8% Al₂O₃, u joffri wiċċ lixx mhux poruż b'disinji ta' kanali tal-vakwu apposta. Jipprovdi riġidità eċċezzjonali (modulu ta' Young 380 GPa) u ċattità (≤3 μm), li jagħmilha ideali għat-tħin preċiż, it-tqattigħ, u t-tqattigħ f'dadi ta' wejfers tas-semikondutturi u komponenti ottiċi. Il-konduttività termali għolja tal-materjal (32 W/m·k) tiżgura uniformità tat-temperatura waqt l-ipproċessar.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al)₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Modulu ta' Young | 380 GPa |
| Konduttività Termali | 32 W/m·k |
| Ċatt | ≤3 μm (aktar minn 200mm) |
| Ħruxija tal-wiċċ (naħa taċ-chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 800°Ċ |
Applikazzjonijiet:
- · Tħin tan-naħa ta' wara tal-wejfer (oħxon u fin)
- · Tqattigħ preċiż ta' materjali fraġli
- · Lapping ta' sottostrati taċ-ċeramika
- · Lustrar tal-lentijiet ottiċi
Manifattura:
Lappatura preċiża taż-żewġ naħat → skanalatura bid-djamanti (mhux obbligatorju) → arrotondament tat-truf → tindif ultrasoniku → spezzjoni tal-flatness ta' 100% b'interferometru tal-lejżer.
Avantaġġi:
- · Appoġġ riġidu jimminimizza d-deflessjoni taħt tagħbija
- · L-ebda ġenerazzjoni ta' partiċelli minn struttura poruża
- · Faċli biex tnaddaf (kompatibbli mal-imsaħ tas-solvent)
- · Skanalaturi tal-vakwu li jistgħu jiġu personalizzati (mudelli konċentriċi, radjali, personalizzati)
Daqsijiet Disponibbli:
Tond: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; kwadru/rettangolari fuq talba.
Noffru wkoll verżjonijiet ibbażati fuq il-metall għal saħħa mekkanika ogħla.
