Chuck tal-Vakwu tal-Alumina għal Tqattigħ Preċiż u Tħin
Iċ-ċokk tal-vakwu tal-alumina ta' St.Cera huwa manifatturat minn 99.8% Al₂O₃ ta' purità għolja bi skanalaturi tal-vakwu maħduma bi preċiżjoni. Il-kapaċità tagħna għat-tħin bi preċiżjoni tikseb ċattità ta' 0.003mm u paralleliżmu ta' 0.002mm, u tiżgura fissazzjoni tal-wejfer mingħajr tgħawwiġ waqt it-tqattigħ f'dadi, it-tħin minn wara, u l-ispezzjoni. Il-materjal joffri saħħa flessibbli għolja (361 MPa), ebusija (16 GPa), u stabbiltà termali sa 800°C. Disponibbli f'formati tondi sa dijametru ta' barra (OD) ta' 600mm u forom rettangolari sa tul ta' 1500mm. L-iskanalaturi tal-vakwu huma ddisinjati apposta (mudelli konċentriċi, radjali, jew ta' grilja) biex jaqdu r-rekwiżiti speċifiċi tal-proċess. Kull ċokk jiġi spezzjonat b'interferometru tal-lejżer u jiġi fornut b'rapport ta' verifika tal-ċattità.
Speċifikazzjonijiet (ibbażati fuq 99.8% Al)₂O₃& il-kapaċitajiet ta' manifattura ta' St.Cera):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Dijametru ta' Barra (massimu) | 600mm |
| Ħxuna (massima) | 100mm |
| Tul (massimu) | 1500mm |
| Ċatt | 0.003mm |
| Paralleliżmu | 0.002mm |
| Irfinar tal-wiċċ | Ra0.1 |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 800°Ċ |
Applikazzjonijiet:
- · Tqattigħ u inċiżjoni ta' wejfers (200mm/300mm u akbar)
- · Tħin minn wara ta' wejfers irqaq
- · Spezzjoni u sonda ottika
- · Immaniġġjar ta' sottostrati kbar
Preċiżjoni tal-Manifattura:
- · Drittalità: 0.005mm
- · Perpendikolarità: 0.005mm
- · Tondità: 0.002mm
- · Konċentriċità: 0.01mm








