Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika Miksi bit-Teflon – Wiċċ li Ma Jwaħħalx għal Immaniġġjar Sensittiv tal-Wefers
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika miksi bit-Teflon (PTFE) ta' St.Cera jikkombina sottostrat tal-alumina ta' saħħa għolja ma' kisi uniformi tal-PTFE b'frizzjoni baxxa (ħxuna 15–30 μm). Il-kisi jipprovdi koeffiċjent ta' frizzjoni estremament baxx (≤0.1), reżistenza kimika eċċellenti, u proprjetajiet li ma jwaħħlux, li jipprevjeni l-adeżjoni tal-wejfer u jelimina l-kontaminazzjoni min-naħa ta' wara. Is-sottostrat taċ-ċeramika sottostanti (99.8% Al₂O₃) joffri saħħa flessibbli għolja (361–1000 MPa), reżistenza għall-użu, u stabbiltà termali sa 260°C (limitu tal-kisi). Dan l-effettur tat-tarf huwa ideali għall-immaniġġjar ta' wejfers delikati, irqaq, jew li jwaħħlu (eż., wara kisi fotoreżistenti jew proċessi kimiċi).
Speċifikazzjonijiet (ibbażat fuq sottostrat ta' 99.8% Al₂O₃ b'kisja PTFE):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal tas-Sottostrat | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Materjal tal-Kisi | PTFE (Teflon) |
| Ħxuna tal-Kisi | 15–30 μm |
| Koeffiċjent tal-Frizzjoni (Miksi) | ≤0.1 |
| Saħħa Flessurali tas-Sottostrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Ebusija tas-Substrat (Al₂O₃) | 16-il GPa |
| Densità tas-Substrat | 3.93 g/ċm³ |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim (limitu tal-kisi) | 260°Ċ |
| Ħruxija tal-wiċċ (qabel il-kisi) | Ra ≤0.4 μm |
| Qawwa Dielettrika (sottostrat) | 15×10⁶ V/m |
Nota: Il-kisi tat-PTFE jillimita t-temperatura massima għal 260°C; għal applikazzjonijiet ta' temperatura ogħla, ikkunsidra ċeramika mhux miksija jew kisi ieħor.
Applikazzjonijiet:
- · Immaniġġjar tal-wejfers wara kisi tal-fotoreżist (uċuħ li jwaħħlu)
- · Trasferiment ta' wejfers irqaq jew fraġli (jipprevjeni li jeħlu)
- · Għodod ta' spezzjoni u metroloġija tas-semikondutturi
- · Awtomazzjoni ta' kmamar nodfa fejn il-kontaminazzjoni tal-partiċelli trid tiġi minimizzata
Proċess ta' Manifattura:
Sottostrat taċ-ċeramika sinterizzat u mitħun bi preċiżjoni → tneħħija tal-wiċċ (inċiżjoni bil-plażma jew grit blast) → kisi bl-isprej PTFE → tqaddid bis-sħana f'380°C → spezzjoni finali. Kull end effector jiġi ċċekkjat għall-ħxuna tal-kisi (kurrent eddy), l-adeżjoni (test cross-cut ASTM D3359), u l-koeffiċjent tal-frizzjoni.
Kontroll tal-Kwalità:
Spezzjoni viżwali ta' 100% għal toqob żgħar jew bżieżaq; uniformità tal-ħxuna tal-kisi fi ħdan ±5 μm; l-ebda delaminazzjoni wara test ta' liwja ta' 90° fuq kupun xhud. Kontroll dimensjonali għat-tolleranza tal-OEM (tul ±0.05 mm, ċattità ≤0.1 mm).
Vantaġġi fuq Kisi Mhux Miksi jew Kisi Ieħor:
- · Wiċċ li ma jwaħħalx jipprevjeni l-adeżjoni u l-ksur tal-wejfer
- · L-inqas koeffiċjent ta' frizzjoni fost il-kisi taċ-ċeramika
- · Reżistenza kimika eċċellenti (aċidi, bażijiet, solventi)
- · Inaqqas il-ġenerazzjoni tal-partiċelli billi jipprevjeni t-trasferiment tal-materjal
Limitazzjonijiet (rimarki dwar devjazzjoni materjali):
Il-kisi tat-PTFE mhuwiex derivat mit-tabelli tal-proprjetajiet tal-materjal ipprovduti (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Il-proprjetajiet tas-sottostrat isegwu strettament id-datasheet fornuta (99.8% Al₂O₃). Il-proprjetajiet tal-kisi huma bbażati fuq speċifikazzjonijiet standard tal-PTFE tal-industrija, peress li ma ġiet ipprovduta l-ebda dejta dwar il-kisi. Għal applikazzjonijiet li jaqbżu l-260°C, huwa rakkomandat end effector taċ-ċeramika mhux miksi.*
Personalizzazzjoni:
Disponibbli f'tulijiet ta' 150–1500 mm, forom tal-ponot (qabda tat-tarf, Bernoulli, ċatta), mudelli tal-flanġ tal-immuntar skont it-tpinġija OEM. Kisi parzjali (żoni ta' kuntatt biss) jew kopertura sħiħa mhux obbligatorja.
Itlob kampjun għal testijiet tal-adeżjoni u l-frizzjoni.
