Qalba taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Fixtures tas-Semikondutturi
Il-qalba taċ-ċeramika tal-alumina ta' St.Cera hija ffurmata bi preċiżjoni minn 99.8% Al₂O₃ ta' purità għolja, li toffri saħħa dielettrika eċċezzjonali (15×10⁶ V/m), stabbiltà termali sa 1600°C, u reżistenza għall-creep taħt tagħbija. Dawn il-qlub jintużaw bħala komponenti strutturali f'attrezzaturi ta' proċessi b'temperatura għolja, bażijiet ta' ħiters, inforri tal-kompartimenti tal-plażma, u iżolaturi elettriċi. L-ebusija għolja tal-materjal (16 GPa) u l-assorbiment baxx tal-ilma (0%) jiżguraw affidabbiltà fit-tul f'ambjenti ħorox.
Speċifikazzjonijiet(ibbażat fuq 99.8% Al)₂O₃):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Reżistenza għall-Frattura | 3–4 MPa·m¹/² |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Modulu ta' Young | 380 GPa |
| Konduttività Termali | 32 W/m·k |
| Espansjoni Termali (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Saħħa Dielettrika | 15×10⁶ V/m |
| Reżistenza Speċifika | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 1600°Ċ |
Applikazzjonijiet:
- · Qalba tat-tisħin għal reatturi epitassjali
- · Inforra u pjanċi tal-għatu tal-kamra tal-plażma
- · Iżolaturi elettriċi ta' vultaġġ għoli
- · Bażi ta' tagħmir għal robots li jimmaniġġjaw il-wejfers
Manifattura:
Ippressar iżostatiku → makkinarju ekoloġiku → sinterizzazzjoni f'1600°C → tħin CNC sad-dimensjonijiet finali (tolleranza ta' ±0.01 mm). Kull qalba tiġi spezzjonata permezz ta' CMM u skoperta ultrasonika ta' difetti.
Assigurazzjoni tal-Kwalità:
Ċertifikat ISO 9001:2015. Ittestjar tal-penetrazzjoni taż-żebgħa għal xquq fil-wiċċ; test tas-saħħa dielettrika skont l-ASTM D149.
Avantaġġi fuq ċeramika oħra:
- · Saħħa dielettrika ogħla miż-żirkonja (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Spiża aktar baxxa minn SiC għal applikazzjonijiet mhux tal-plażma
- · Reżistenza kimika eċċellenti għall-aloġeni (ħlief HF)
Forom Personalizzati:
Ċilindri, vireg kwadri, pjanċi, jew ġeometriji kumplessi. Daqs minimu tal-karatteristika 0.5 mm.
Ikkuntattjana għal disinji ewlenin apposta u appoġġ għas-simulazzjoni termali.
