-
Driegħ Robotiku taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għall-Immaniġġjar tal-Wefers
Id-driegħ tar-robot taċ-ċeramika tal-alumina ta' St.Cera huwa magħmul minn inġinerija ta' preċiżjoni minn 99.8% Al₂O₃ (alumina) ta' purità għolja. Jikkombina saħħa flessibbli eċċezzjonali (361 MPa), ebusija għolja (16 GPa), u densità baxxa (3.93 g/cm³), li tirriżulta f'driegħ ħafif iżda riġidu għat-trasferiment tal-wejfer tas-semikondutturi. Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-materjal (7.2×10⁻⁶/°C) jaqbel sew mas-silikon, u jimminimizza n-nuqqas ta' qbil termali waqt l-ipproċessar.
-
Bernoulli Ceramic End Effector — Immaniġġjar ta' Wejfers Mingħajr Kuntatt għal Wejfers Irqaq u Fraġli
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika Bernoulli ta' St.Cera juża rfigħ aerodinamiku biex jimmaniġġja l-wejfers mingħajr kuntatt fiżiku. Manifatturat minn alumina (Al₂O₃) jew karbur tas-silikon (SiC) ta' purità għolja ta' 99.8%, għandu żennuni maħduma bil-magni preċiżi li joħorġu gass bi pressjoni biex joħolqu film irqiq ta' arja bejn l-effettur tat-tarf u l-wejfer. Dan il-prinċipju mingħajr kuntatt jelimina l-kontaminazzjoni minn wara, it-tqattigħ tat-truf, u l-ħsara fil-wiċċ, u dan jagħmilha ideali għal wejfers irqaq (≤100 μm), fraġli, jew mgħawġa. Is-sottostrat taċ-ċeramika jipprovdi saħħa flessibbli għolja (361 MPa għal Al₂O₃; sa 550–600 MPa għal SiC), massa baxxa, u stabbiltà dimensjonali eċċellenti, li tiżgura pożizzjonament ripetibbli f'robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja.
-
Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika Miksi bit-Teflon – Wiċċ li Ma Jwaħħalx għal Immaniġġjar Sensittiv tal-Wefers
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika miksi bit-Teflon (PTFE) ta' St.Cera jikkombina sottostrat tal-alumina ta' saħħa għolja ma' kisi uniformi tal-PTFE b'frizzjoni baxxa (ħxuna 15–30 μm). Il-kisi jipprovdi koeffiċjent ta' frizzjoni estremament baxx (≤0.1), reżistenza kimika eċċellenti, u proprjetajiet li ma jwaħħlux, li jipprevjeni l-adeżjoni tal-wejfer u jelimina l-kontaminazzjoni min-naħa ta' wara. Is-sottostrat taċ-ċeramika sottostanti (99.8% Al₂O₃) joffri saħħa flessibbli għolja (361–1000 MPa), reżistenza għall-użu, u stabbiltà termali sa 260°C (limitu tal-kisi). Dan l-effettur tat-tarf huwa ideali għall-immaniġġjar ta' wejfers delikati, irqaq, jew li jwaħħlu (eż., wara kisi fotoreżistenti jew proċessi kimiċi).
