Chuck tal-Vakwu SiC Poruż b'Back tal-Metall għall-Immaniġġjar ta' Wejfers Mgħawġa u Rqaq

Iċ-ċokk tal-vakwu taċ-ċeramika bbażat fuq il-metall ta' St.Cera jikkombina saff taċ-ċeramika poruż tal-karbur tas-silikon (SiC) ma' bażi tal-metall maħduma bi preċiżjoni (aluminju jew azzar inossidabbli). Il-materjal poruż SiC (blu-iswed, porożità 35–40%, daqs tal-pori 20–30 μm, permeabilità 60 ml/cm²·min) jipprovdi distribuzzjoni uniformi u ġentili tal-vakwu mal-wiċċ kollu tal-wejfer, jelimina l-immarkar tat-truf u jippermetti appoġġ mingħajr kuntatt għal wejfers irqaq (≤100 μm) jew mgħawġa. Is-saff SiC joffri espansjoni termali baxxa (3.5×10⁻⁶/℃), stabbiltà termali sa 1000°C, u saħħa flessibbli moderata (32–35 MPa). Il-bażi tal-metall iżżid riġidità strutturali, immuntar faċli permezz ta' toqob bil-kamin, u protezzjoni kontra ksur fraġli. Dan iċ-ċokk huwa ideali għat-tħin minn wara, it-tqattigħ f'dadi, u l-ipproċessar tal-wejfers f'temperatura għolja fejn vakwu uniformi u kompatibilità termali huma kritiċi.

Speċifikazzjonijiet (ibbażati fuq id-dejta tas-SiC poruż fornuta):

Nota: Is-saħħa tal-flessjoni hija aktar baxxa minn SiC dens minħabba l-porożità. Il-proprjetajiet tal-bażi tal-metall mhumiex minn tabelli taċ-ċeramika.

Applikazzjonijiet:

• · Tħin minn wara ta' wejfers irqaq (≤100 μm)
• · Immuntar ta' wejfer mgħawweġ għat-tqattigħ f'dadi
• · Tqattiegħ tal-wejfers f'temperatura għolja (sa 1000°C)
• · Twaħħil bil-vakwu għal sottostrati porużi jew fraġli

Manifattura:

Pjanċa poruża tas-SiC (iffurmata b'forom tal-pori, sinterizzata) → imdaħħla f'ċatt ≤10 μm → bażi tal-metall immaxinata b'portijiet tal-vakwu u karatteristiċi ta' mmuntar → twaħħil epossidiku jew ikklampjar mekkaniku → test tat-tnixxija tal-elju.

Kontroll tal-Kwalità:

• · Porożità u daqs tal-pori vverifikati permezz ta' SEM
• · Test tal-permeabilità (fluss tal-arja)
• · Ċattità mkejla b'interferometru tal-lejżer
• · Rata ta' tnixxija tal-elju <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Vantaġġi fuq Mandrini taċ-Ċeramika Grooved jew Dense:

• · L-ebda marka tal-wejfer – vakwu uniformi mingħajr toqob diskreti
• · Pori li jnaddfu lilhom infushom – imblukkar imnaqqas
• · Jimmaniġġja wejfers mgħawġa (sa 500 μm bow)
• · Bażi tal-metall tipprevjeni ksur fraġli u tissimplifika l-integrazzjoni

Limitazzjonijiet:

• · Saħħa flessibbli aktar baxxa (32–35 MPa) – evita tagħbija ta' impatt
• · It-temperatura operattiva hija limitata għal 1000°C (SiC poruż), iżda l-limiti tar-rabta epossidika b'bażi ​​tal-metall huma ≤200°C sakemm ma tkunx imwaħħla mekkanikament
• · Mhux għal vakwu bi pressjoni għolja (l-istruttura poruża tillimita d-differenzjali massima tal-vakwu)

Personalizzazzjoni:

• · Bażi tal-metall: aluminju (ħafif), azzar inossidabbli (reżistenti għall-korrużjoni), Invar (espansjoni baxxa)
• · Twaħħil: epossidiku (≤200°C) jew morsa mekkanika (sa 500°C)
• · Ċirku tas-siġillar tat-tarf għall-kontroll tal-vakwu fiż-żona

Jekk jogħġbok innota: Is-saħħa tal-flessjoni fornuta (32–35 MPa) hija sinifikament aktar baxxa miċ-ċeramika densa minħabba l-porożità. Immaniġġja b'attenzjoni biex tevita t-tqaxxir tat-truf.