banner_tal-paġna

Ċirku ta' Insulazzjoni tal-Alumina PVD għal Sistemi ta' Depożizzjoni Fiżika tal-Fwar

Ċirku ta' Insulazzjoni tal-Alumina PVD għal Sistemi ta' Depożizzjoni Fiżika tal-Fwar

Deskrizzjoni Qasira:

Iċ-ċirku ta' insulazzjoni PVD ta' St.Cera huwa manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-użu f'sistemi ta' depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD). Iċ-ċirku jipprovdi iżolament elettriku bejn il-komponenti tal-kamra, jipprevjeni l-arkjar u jiżgura tħaddim stabbli tal-plażma. Il-proprjetajiet ewlenin jinkludu saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), reżistenza speċifika >10¹⁴ Ω·mm²/m, u stabbiltà termali sa 1600°C. Il-kapaċitajiet tagħna ta' makkinar ta' preċiżjoni jiksbu dijametri ta' barra sa 600mm, dijametri ta' ġewwa sa 0.2mm, ċattità ta' 0.003mm, u finitura tal-wiċċ Ra0.1. Il-porożità żero u l-inerzja kimika taċ-ċirku jiżguraw affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi ta' sputtering.


Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Iċ-ċirku ta' insulazzjoni PVD ta' St.Cera huwa manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-użu f'sistemi ta' depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD). Iċ-ċirku jipprovdi iżolament elettriku bejn il-komponenti tal-kamra, jipprevjeni l-arkjar u jiżgura tħaddim stabbli tal-plażma. Il-proprjetajiet ewlenin jinkludu saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), reżistenza speċifika >10¹⁴ Ω·mm²/m, u stabbiltà termali sa 1600°C. Il-kapaċitajiet tagħna ta' makkinar ta' preċiżjoni jiksbu dijametri ta' barra sa 600mm, dijametri ta' ġewwa sa 0.2mm, ċattità ta' 0.003mm, u finitura tal-wiċċ Ra0.1. Il-porożità żero u l-inerzja kimika taċ-ċirku jiżguraw affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi ta' sputtering.

 

Speċifikazzjonijiet (ibbażati fuq 99.8% Al)O& il-kapaċitajiet ta' manifattura ta' St.Cera):

Proprjetà Valur
Materjal 99.8% Alumina (Avorju)
Densità 3.93 g/ċm³
Saħħa Flessurali 361 MPa
Ebusija tal-Vickers 16-il GPa
Saħħa Dielettrika 15×10⁶ V/m
Reżistenza Speċifika >10¹⁴ Ω·mm²/m
Dijametru Massimu ta' Barra 600mm
Dijametru Intern Minimu 0.2mm
Ħxuna Massima 100mm
Ċatt 0.003mm
Paralleliżmu 0.002mm
Irfinar tal-wiċċ Ra0.1
Temperatura Massima tat-Tħaddim 1600°Ċ

Applikazzjonijiet:

  • · Iżolaturi tal-pjanċa ta' rinforz fil-mira f'sistemi PVD
  • · Iżolaturi tal-feedthrough tal-kamra
  • · Iżolaturi taċ-ċirku tat-tarka f'sistemi ta' sputtering
  • · Iżolament ta' vultaġġ għoli f'kmamar tal-plażma

 

Preċiżjoni tal-Manifattura:

Konċentriċità: 0.01mm, tondità: 0.002mm, drittarità: 0.005mm, perpendikolarità: 0.005mm, verifikata minn CMM.

 

AVantaġġi fuq l-Iżolaturi tal-Polimeru:

  • · Jiflaħ 1600°C meta mqabbel mal-limitu ta' <300°C tal-polimeru
  • · L-ebda ħruġ ta' gass - iżomm l-integrità tal-vakwu
  • · Jirreżisti l-erożjoni tal-plażma u l-attakk kimiku

 

Personalizzazzjoni:

Sezzjonijiet trasversali apposta, karatteristiċi ta' mmuntar, profili tat-turġien, u disinji multipli ta' ċrieki konċentriċi disponibbli.


  • Preċedenti:
  • Li jmiss: