Ċirku ta' Insulazzjoni tal-Alumina PVD għal Sistemi ta' Depożizzjoni Fiżika tal-Fwar
Iċ-ċirku ta' insulazzjoni PVD ta' St.Cera huwa manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-użu f'sistemi ta' depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD). Iċ-ċirku jipprovdi iżolament elettriku bejn il-komponenti tal-kamra, jipprevjeni l-arkjar u jiżgura tħaddim stabbli tal-plażma. Il-proprjetajiet ewlenin jinkludu saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), reżistenza speċifika >10¹⁴ Ω·mm²/m, u stabbiltà termali sa 1600°C. Il-kapaċitajiet tagħna ta' makkinar ta' preċiżjoni jiksbu dijametri ta' barra sa 600mm, dijametri ta' ġewwa sa 0.2mm, ċattità ta' 0.003mm, u finitura tal-wiċċ Ra0.1. Il-porożità żero u l-inerzja kimika taċ-ċirku jiżguraw affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi ta' sputtering.
Speċifikazzjonijiet (ibbażati fuq 99.8% Al)₂O₃& il-kapaċitajiet ta' manifattura ta' St.Cera):
| Proprjetà | Valur |
| Materjal | 99.8% Alumina (Avorju) |
| Densità | 3.93 g/ċm³ |
| Saħħa Flessurali | 361 MPa |
| Ebusija tal-Vickers | 16-il GPa |
| Saħħa Dielettrika | 15×10⁶ V/m |
| Reżistenza Speċifika | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Dijametru Massimu ta' Barra | 600mm |
| Dijametru Intern Minimu | 0.2mm |
| Ħxuna Massima | 100mm |
| Ċatt | 0.003mm |
| Paralleliżmu | 0.002mm |
| Irfinar tal-wiċċ | Ra0.1 |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 1600°Ċ |
Applikazzjonijiet:
- · Iżolaturi tal-pjanċa ta' rinforz fil-mira f'sistemi PVD
- · Iżolaturi tal-feedthrough tal-kamra
- · Iżolaturi taċ-ċirku tat-tarka f'sistemi ta' sputtering
- · Iżolament ta' vultaġġ għoli f'kmamar tal-plażma
Preċiżjoni tal-Manifattura:
Konċentriċità: 0.01mm, tondità: 0.002mm, drittarità: 0.005mm, perpendikolarità: 0.005mm, verifikata minn CMM.
AVantaġġi fuq l-Iżolaturi tal-Polimeru:
- · Jiflaħ 1600°C meta mqabbel mal-limitu ta' <300°C tal-polimeru
- · L-ebda ħruġ ta' gass - iżomm l-integrità tal-vakwu
- · Jirreżisti l-erożjoni tal-plażma u l-attakk kimiku
Personalizzazzjoni:
Sezzjonijiet trasversali apposta, karatteristiċi ta' mmuntar, profili tat-turġien, u disinji multipli ta' ċrieki konċentriċi disponibbli.








